离子溅射仪常见四种故障现象的mg不朽情缘游戏在线试玩方法分享
1、故障现象:使用一段时间后,溅射电流变小
mg不朽情缘游戏在线试玩方法:对靶材有无变色、破裂和油污等现进行检查。前两者对靶材进行更换,后者被油蒸汽污染,通过无水乙醇进行清洁,等到干了以后才能够抽真空。
2、故障现象:在使用一段时间以后,有着过低的真空。
mg不朽情缘游戏在线试玩方法:对溅射室中或管道内是否有油进行检查,能够使用汽油进行清洗。
3、故障现象:溅射电流不稳定忽高忽低
mg不朽情缘游戏在线试玩方法:阴极罩与靶的固定环有着过近的距离,将阴极罩逆时针旋转,对间距进行调整。
4、故障现象:有着过低的真空
mg不朽情缘游戏在线试玩方法:将放气阀、漏气阀和观察泵的油窗液面旋紧。
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